gan基蓝光半导体激光器的发展

？文章介绍了下一代光存储用半导体激光器——gan蓝光激光器的发展状况.对衬底材料的发展现状、外延片的生长技术以及激光器的制作工艺都作了论述.阐明了gan激光器的一些技术路线，如gan同质生长衬底的发展，侧向外延生长技术的采用以及湿法腐蚀腔面等.另外还介绍了gan半导体激光器数字多功能光盘(dvd)的实用化进程.