%0 Journal Article
%T gan基蓝光半导体激光器的发展
%A 陈良惠
%A 叶晓军
%A 种明
%J 物理
%P 0-0
%D 2003
%X ？文章介绍了下一代光存储用半导体激光器——gan蓝光激光器的发展状况.对衬底材料的发展现状、外延片的生长技术以及激光器的制作工艺都作了论述.阐明了gan激光器的一些技术路线，如gan同质生长衬底的发展，侧向外延生长技术的采用以及湿法腐蚀腔面等.另外还介绍了gan半导体激光器数字多功能光盘(dvd)的实用化进程.
%K gan
%K 蓝光激光器
%K 侧向外延生长
%K 光存储
%K 数字多功能光盘(dvd)
%U http://www.wuli.ac.cn/CN/abstract/abstract30284.shtml