三维寄生电容边界元计算的半解析积分方法

在VLSI三维多介质互连寄生电容的边界元法计算中,利用互连结构特点,本文提出一种半解析积分方法,它应用原函数方法将二维面积分转化为一维线积分,再用一维高斯积分求出积分值.与二维高斯积分相比,速度更快、精度更高,并改善了解的精度.