%0 Journal Article
%T 三维寄生电容边界元计算的半解析积分方法
%A 古江春
%A 王泽毅
%A 洪先龙
%J 电子学报
%P 127-129
%D 2000
%X 在VLSI三维多介质互连寄生电容的边界元法计算中,利用互连结构特点,本文提出一种半解析积分方法,它应用原函数方法将二维面积分转化为一维线积分,再用一维高斯积分求出积分值.与二维高斯积分相比,速度更快、精度更高,并改善了解的精度.
%K VLSI
%K 寄生电容
%K 边界元素法
%K 半解析积分
%U http://www.ejournal.org.cn/CN/abstract/abstract5070.shtml