室温工作双敏感膜HSGFET型O3传感器的研究
, PP. 604-606
Keywords: 复合悬浮栅场效应管,功函数,双敏感膜,臭氧传感器
Abstract:
本文研究室温下工作,具有双敏感膜,检测ppb范围内O3浓度的复合悬浮栅FET(HybridSuspendedGateFieldEffectTransistor即HSGFET)型臭氧传感器.文中给出了四种固态HSGFET型臭氧传感器的实验结果,发现具有结构的传感器对O3有很好的响应特性;实验结果与由开尔芬(Kelvin)探针得到的结果进行了比较.
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