%0 Journal Article
%T 室温工作双敏感膜HSGFET型O3传感器的研究
%A 牛文成
%A 孙学珠
%A 吴小晔
%A 李华伟
%A 那兴波
%A 俞梅
%A 陈兴梧
%A 张福海
%A 谢建湘
%J 电子学报
%P 604-606
%D 2001
%X 本文研究室温下工作,具有双敏感膜,检测ppb范围内O3浓度的复合悬浮栅FET(HybridSuspendedGateFieldEffectTransistor即HSGFET)型臭氧传感器.文中给出了四种固态HSGFET型臭氧传感器的实验结果,发现具有结构的传感器对O3有很好的响应特性;实验结果与由开尔芬(Kelvin)探针得到的结果进行了比较.
%K 复合悬浮栅场效应管
%K 功函数
%K 双敏感膜
%K 臭氧传感器
%U http://www.ejournal.org.cn/CN/abstract/abstract1407.shtml