线性余因子差分亚阈电压峰技术测量电应力诱生MOSFET界面陷阱的研究

本文提出了用线性余因子差分亚阈电压峰测量电应力诱生MOSFET界面陷阱的新技术并进行了实验验证.详细介绍了该方法的基本原理和实验实现,得到了电应力诱生MOSFET界面陷阱和累积应力时间的关系.该方法具有普适性,可用于MOSFET的一般可靠性研究和寿命预测.