%0 Journal Article
%T 线性余因子差分亚阈电压峰技术测量电应力诱生MOSFET界面陷阱的研究
%A 何进
%A 张兴
%A 黄如
%A 王阳元
%J 电子学报
%P 1108-1110
%D 2002
%X 本文提出了用线性余因子差分亚阈电压峰测量电应力诱生MOSFET界面陷阱的新技术并进行了实验验证.详细介绍了该方法的基本原理和实验实现,得到了电应力诱生MOSFET界面陷阱和累积应力时间的关系.该方法具有普适性,可用于MOSFET的一般可靠性研究和寿命预测.
%K MOS器件
%K 界面陷阱
%K 线性余因子差分法
%K 电应力效应
%U http://www.ejournal.org.cn/CN/abstract/abstract4286.shtml