射频/微波MEMSShunt开关的开启时间研究
, PP. 1204-1206
Keywords: MEMS开关,开启时间,理论模型,数值计算
Abstract:
本文描述了射频／微波MEMSshunt开关的理论模型和数值结论.把可动薄膜的运动近似地模拟为作用在可动薄膜上的变静电力、弹力及空气阻力的单自由度阻尼振动.给出了典型MEMSshunt开关开启时间的数学表达式及数值计算值.根据可动膜厚、材料和几何结构参数不同,得到了典型的MEMSshunt开关的开启时间大约为1~40μs.其计算值同文献[4]的值相符得很好.本文还讨论了该理论模型和数值计算的局限性.
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