%0 Journal Article
%T 射频/微波MEMSShunt开关的开启时间研究
%A 龙永福
%A 朱自强
%A 赖宗声
%A 郭方敏
%A 石艳玲
%J 电子学报
%P 1204-1206
%D 2002
%X 本文描述了射频／微波MEMSshunt开关的理论模型和数值结论.把可动薄膜的运动近似地模拟为作用在可动薄膜上的变静电力、弹力及空气阻力的单自由度阻尼振动.给出了典型MEMSshunt开关开启时间的数学表达式及数值计算值.根据可动膜厚、材料和几何结构参数不同,得到了典型的MEMSshunt开关的开启时间大约为1~40μs.其计算值同文献[4]的值相符得很好.本文还讨论了该理论模型和数值计算的局限性.
%K MEMS开关
%K 开启时间
%K 理论模型
%K 数值计算
%U http://www.ejournal.org.cn/CN/abstract/abstract1141.shtml