微机械光调制器的制备及其在不同激励条件下的响应研究

本文主要讨论了具有机械式抗反射开关(即MARS)结构的新型微机械光调制器.MARS结构光调制器由表面微机械工艺制备.测量结果表明,微机械光调制器有一系列的固有频率.当器件被正弦信号激励时,其响应信号也是正弦信号.当器件被方波信号激励时,响应信号和激励频率有关.当激励方波频率远低于器件固有频率时,器件响应实际上是对上下两个阶跃信号的响应:出现明显的阻尼振荡效应.当激励频率在固有频率附近时,器件实际只对方波的基频效应:响应为正弦信号.