%0 Journal Article
%T 微机械光调制器的制备及其在不同激励条件下的响应研究
%A 茅惠兵
%A 忻佩胜
%A 柯菁华
%A 赖宗声
%J 电子学报
%P 262-265
%D 2002
%X 本文主要讨论了具有机械式抗反射开关(即MARS)结构的新型微机械光调制器.MARS结构光调制器由表面微机械工艺制备.测量结果表明,微机械光调制器有一系列的固有频率.当器件被正弦信号激励时,其响应信号也是正弦信号.当器件被方波信号激励时,响应信号和激励频率有关.当激励方波频率远低于器件固有频率时,器件响应实际上是对上下两个阶跃信号的响应:出现明显的阻尼振荡效应.当激励频率在固有频率附近时,器件实际只对方波的基频效应:响应为正弦信号.
%K 微电子机械系统
%K 光调制器
%K 固有频率
%U http://www.ejournal.org.cn/CN/abstract/abstract4148.shtml