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电子学报 2000
微空气桥隔离的自对准AlGaAs/GaAs异质结双极晶体管, PP. 132-134 Keywords: AlGaAs/GaAs异质结双极晶体管,自对准结构,微空气桥隔离 Abstract: 利用微空气桥隔离和自对准技术成功地研制出了自对准结构的AlGaAs/GaAs异质结双极晶体管.器件展现出良好的直流和高频特性.对于发射极面积为2μm×15μm的器件,直流电流增益大于10,失调电压(Offsetvoltage)200mV;电流增益截止频率fT大于30GHz,最高振荡频率fmax约为50GHz.
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