%0 Journal Article
%T 微空气桥隔离的自对准AlGaAs/GaAs异质结双极晶体管
%A 严北平
%A 张鹤鸣
%A 戴显英
%J 电子学报
%P 132-134
%D 2000
%X 利用微空气桥隔离和自对准技术成功地研制出了自对准结构的AlGaAs/GaAs异质结双极晶体管.器件展现出良好的直流和高频特性.对于发射极面积为2μm×15μm的器件,直流电流增益大于10,失调电压(Offsetvoltage)200mV;电流增益截止频率fT大于30GHz,最高振荡频率fmax约为50GHz.
%K AlGaAs/GaAs异质结双极晶体管
%K 自对准结构
%K 微空气桥隔离
%U http://www.ejournal.org.cn/CN/abstract/abstract5296.shtml