|
|
电子学报 2007
一种新型的Pt-NiO混合敏感膜全固态溶解CO2传感器及其特性测量, PP. 912-915 Keywords: 溶解CO2传感器,Pt-NiO混合敏感膜,MISFET结构 Abstract: 为了方便的测量溶解二氧化碳(CO2),利用室温下NiO对CO2的敏感特性,基于碳糊成膜方法,研制了一种新型全固态溶解CO2传感器.文章中,分析了传感器的结构和NiO敏感膜对CO2的敏感机理,测量了不同工作点和不同温度下传感器输出电压ΔVrs随着溶解CO2浓度变化的响应特性.实验结果显示,基于MISFET结构的Pt-NiO混合敏感膜溶解CO2传感器可以在室温下方便的检测溶解CO2浓度.
|
