%0 Journal Article
%T 一种新型的Pt-NiO混合敏感膜全固态溶解CO2传感器及其特性测量
%A 岳钊
%A 牛文成
%A 谢林宏
%A 权伍明
%A 罗
%J 电子学报
%P 912-915
%D 2007
%X 为了方便的测量溶解二氧化碳(CO2),利用室温下NiO对CO2的敏感特性,基于碳糊成膜方法,研制了一种新型全固态溶解CO2传感器.文章中,分析了传感器的结构和NiO敏感膜对CO2的敏感机理,测量了不同工作点和不同温度下传感器输出电压ΔVrs随着溶解CO2浓度变化的响应特性.实验结果显示,基于MISFET结构的Pt-NiO混合敏感膜溶解CO2传感器可以在室温下方便的检测溶解CO2浓度.
%K 溶解CO2传感器
%K Pt-NiO混合敏感膜
%K MISFET结构
%U http://www.ejournal.org.cn/CN/abstract/abstract5560.shtml