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华东师范大学学报(自然科学版) 2004
一种新型可调式微机械光衰减器, PP. 71-75 Keywords: 微光机电系统,抗反射结构,可调式光衰减器,静电力驱动,微光机电系统,抗反射结构,可调式光衰减器,静电力驱动 Abstract: 讨论基于抗反射结构（MechanicalAnti-ReflectionStructure,MARS）的硅基微机械式光衰减技术的基本原理和相关的制造方法，研制了一种工作在1320~1550nｍ波长范围内的静电力驱动的可调式微机械光衰减器.制备该衰减器使用常规的硅平面工艺，制作简单，成本较低.器件体积小，响应速度快，可适应日益增长的波分复用（wavelengthdivisionmultiplex,WDM）全光网的发展.
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