%0 Journal Article %T 一种新型可调式微机械光衰减器 %A 杨震 %A 李国栋 %A 彭德艳 %A 忻佩胜 %A 赖宗声 %A 朱自强 %J 华东师范大学学报(自然科学版) %P 71-75 %D 2004 %X 讨论基于抗反射结构(MechanicalAnti-ReflectionStructure,MARS)的硅基微机械式光衰减技术的基本原理和相关的制造方法,研制了一种工作在1320~1550nm波长范围内的静电力驱动的可调式微机械光衰减器.制备该衰减器使用常规的硅平面工艺,制作简单,成本较低.器件体积小,响应速度快,可适应日益增长的波分复用(wavelengthdivisionmultiplex,WDM)全光网的发展. %K 微光机电系统 %K 抗反射结构 %K 可调式光衰减器 %K 静电力驱动 %K 微光机电系统 %K 抗反射结构 %K 可调式光衰减器 %K 静电力驱动 %U http://xblk.ecnu.edu.cn/CN/abstract/abstract24268.shtml