相位连续可调毫米波MEMS移相器的研制

MEMS毫米波相移器是MEMS毫米波相控阵天线的关键部件之一，它的性能直接决定了毫米波相控阵天线的性能。该文介绍毫米波MEMS相移器的设计，研究低损耗衬底，Au,AlxSi1-x可动膜对下拉电压和传输损耗的影响，测试表明:21桥相位连续可调的分布式压控开关阵列一毫米波相移器在35GHz时，启动电压5V,20V时相移量达到372o/3.5mm，并能在不同的控制电压下根据要求改变相移量。