%0 Journal Article
%T 相位连续可调毫米波MEMS移相器的研制
%A 郭方敏
%A 朱守正
%A 魏华征
%A 郑莹
%A 朱荣锦
%A 忻佩胜
%A 朱自强
%A 赖宗声
%A 杨根庆
%J 华东师范大学学报(自然科学版)
%P 49-55
%D 2004
%X MEMS毫米波相移器是MEMS毫米波相控阵天线的关键部件之一，它的性能直接决定了毫米波相控阵天线的性能。该文介绍毫米波MEMS相移器的设计，研究低损耗衬底，Au,AlxSi1-x可动膜对下拉电压和传输损耗的影响，测试表明:21桥相位连续可调的分布式压控开关阵列一毫米波相移器在35GHz时，启动电压5V,20V时相移量达到372o/3.5mm，并能在不同的控制电压下根据要求改变相移量。
%K MEMS
%K 毫米波相移器
%K 相位连续可调
%K 传输损耗
%K 插人损耗
%K 启动电压
%K MEMS
%K 毫米波相移器
%K 相位连续可调
%K 传输损耗
%K 插人损耗
%K 启动电压
%U http://xblk.ecnu.edu.cn/CN/abstract/abstract23863.shtml