新型RFMEMS开关的动态表征
, PP. 118-122
Keywords: 微电子机械系统,射频开关,双稳态,动态测量,微电子机械系统,射频开关,双稳态,动态测量
Abstract:
一种基于UVLIGA加工技术的双稳态电磁型RFMEMS开关，由于其结构使用了永磁体单元而使得开关在维持“开”或“关”态时不需要功耗，从而实现低功耗的电磁驱动.利用非接触式WykoNT1100光学轮廓仪所附带的动态测量系统（DMEMS），对开关的动态响应进行了测量.测量结果表明开关实现了双稳态驱动，开关实现状态完全切换到位对应的响应时间不到20μs.
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