%0 Journal Article
%T 新型RFMEMS开关的动态表征
%A 张永华
%A 刘蕾
%A 丁桂甫
%A 蔡炳初
%A 赖宗声
%J 华东师范大学学报(自然科学版)
%P 118-122
%D 2007
%X 一种基于UVLIGA加工技术的双稳态电磁型RFMEMS开关，由于其结构使用了永磁体单元而使得开关在维持“开”或“关”态时不需要功耗，从而实现低功耗的电磁驱动.利用非接触式WykoNT1100光学轮廓仪所附带的动态测量系统（DMEMS），对开关的动态响应进行了测量.测量结果表明开关实现了双稳态驱动，开关实现状态完全切换到位对应的响应时间不到20μs.
%K 微电子机械系统
%K 射频开关
%K 双稳态
%K 动态测量
%K 微电子机械系统
%K 射频开关
%K 双稳态
%K 动态测量
%U http://xblk.ecnu.edu.cn/CN/abstract/abstract24221.shtml