VO2/TiO2复合薄膜的结构和红外光学性质研究

采用溶胶凝胶法在白云母沿（001）方向的解理表面制备VO2/TiO2热致相变复合薄膜。利用X射线衍射仪（XRD），X射线光电子能谱仪（XPS），原子力显微镜（AFM）等手段分析了薄膜的微观结构和表面形貌，通过原位傅里叶变换红外光谱（in-situFTIR）分析复合薄膜在不同温度下的红外透过率，研究其热致相变特性。结果表明，复合薄膜在云母解理面表面呈VO2（011）/TiO2（101）取向生长，表面致密平整。复合薄膜在金属-半导体相变前后表现出优异的光学开关效应，相变过程中的红外光（波长为4μm）透过率变化（ΔTr）为75.5%；相变过程陡然，透过率变化率（-dTr/dT）达15.7%/℃，滞回温宽减小到8℃。