%0 Journal Article %T VO2/TiO2复合薄膜的结构和红外光学性质研究 %A 颜家振 %A 黄婉霞 %A 李宁 %J 红外与激光工程 %P 2485-2489 %D 2013 %X 采用溶胶凝胶法在白云母沿(001)方向的解理表面制备VO2/TiO2热致相变复合薄膜。利用X射线衍射仪(XRD),X射线光电子能谱仪(XPS),原子力显微镜(AFM)等手段分析了薄膜的微观结构和表面形貌,通过原位傅里叶变换红外光谱(in-situFTIR)分析复合薄膜在不同温度下的红外透过率,研究其热致相变特性。结果表明,复合薄膜在云母解理面表面呈VO2(011)/TiO2(101)取向生长,表面致密平整。复合薄膜在金属-半导体相变前后表现出优异的光学开关效应,相变过程中的红外光(波长为4μm)透过率变化(ΔTr)为75.5%;相变过程陡然,透过率变化率(-dTr/dT)达15.7%/℃,滞回温宽减小到8℃。 %U http://irla.csoe.org.cn/CN/Y2013/V42/I9/2485