用消光式椭圆偏振光谱法测量掺钇a-Si:H膜的光学性质

用消光式椭圆偏振光谱法测量了不同掺杂浓度下,掺钇a-Si:H膜的光学性质随波长的变化关系。利用有效介质近似理论计算了样品中钇的体积百分比,并与能谱法测量结果加以比较,两者相符。