%0 Journal Article
%T 用消光式椭圆偏振光谱法测量掺钇a-Si:H膜的光学性质
%J 红外与毫米波学报
%D 1988
%X 用消光式椭圆偏振光谱法测量了不同掺杂浓度下,掺钇a-Si:H膜的光学性质随波长的变化关系。利用有效介质近似理论计算了样品中钇的体积百分比,并与能谱法测量结果加以比较,两者相符。
%K 椭圆偏振光谱
%K 掺钇a-Si:H膜
%K 有效介质近似理论
%U http://journal.sitp.ac.cn/hwyhmb/hwyhmbcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=19880448&flag=1