光学弱相干测温

将光学弱相干层析与激光干涉测量结合，提出了一种新型测温方法，光学弱相干测温，该方法利用光源的弱相干性抑制背影反射光，同时使待测相位通过光学方法放大，测温精度显著提高，特别适用于较薄样品，较低温度变化的测量。