%0 Journal Article
%T 光学弱相干测温
%J 红外与毫米波学报
%D 1996
%X 将光学弱相干层析与激光干涉测量结合，提出了一种新型测温方法，光学弱相干测温，该方法利用光源的弱相干性抑制背影反射光，同时使待测相位通过光学方法放大，测温精度显著提高，特别适用于较薄样品，较低温度变化的测量。
%K 红外激光测温芯片温度测量非侵入性
%U http://journal.sitp.ac.cn/hwyhmb/hwyhmbcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=199606100&flag=1