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Keywords: 光荧光,量子阱,GaAs/AlGaAs
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用注入Ga离子GaAs/AlGaAs量子阱在快速热退火中大大加快了异质结界面的互扩散,表现在PL光谱中量子阱峰值能量有30~90meV的兰移.发现兰移大小同注入损伤程度、退火的温度及时间有关,并得到快速退火中的互扩散系数D约为10-15~10-17cm2/s
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