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ISSN: 2333-9721
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非量子限条件下P型InSbMOS结构反型层中子能带实验研究

Keywords: 电容谱共振缺陷态子能带锑化铟

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Abstract:

在100K条件下测量了p型InSbMOS器件的变频电容-电压(C-V)谱,在反型区观察到第二子带填充电子的台阶效应,还发现一个位于导带中的共振缺陷态.采用非量子限多带C-V拟合模型获得了子能带结构.

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