用掩模分离法制备微型红外滤光片列阵的工艺研究

介绍了在研制微型红外滤光片中将半导体器件制作工艺与基本ＰＶＤ方法结合而成的掩模分离方法，及其制备微型滤光片和将几种滤光片集成在一起的工艺方法，报道了阶段性研究结果。