%0 Journal Article
%T 用掩模分离法制备微型红外滤光片列阵的工艺研究
%J 红外与毫米波学报
%D 1994
%X 介绍了在研制微型红外滤光片中将半导体器件制作工艺与基本ＰＶＤ方法结合而成的掩模分离方法，及其制备微型滤光片和将几种滤光片集成在一起的工艺方法，报道了阶段性研究结果。
%K 掩模微型滤光片列阵滤光片
%U http://journal.sitp.ac.cn/hwyhmb/hwyhmbcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=19940227&flag=1