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红外与毫米波学报 2015
锰钴镍氧浸没式探测器制备及性能Keywords: 尖晶石氧化物 薄膜 热敏探测器 浸没式 Abstract: 基于化学溶液法制备了尖晶石结构氧化物锰钴镍氧Mn1.56Co0.96Ni0.48O4(MCNO)薄膜材料, 研究了其电学性质及红外器件的探测性能, 包括器件的响应率, 时间常数和探测率.制作了厚度为8μm的MCNO薄膜及红外热敏探测器件, 测量了材料的阻值-温度曲线.制作了基于半球形锗透镜的浸没式MCNO薄膜探测器, 具有时间常数较小(~18ms), 响应率高(~4.4×103V/W)和探测率高(~5×108cm·Hz0.5/W)的优点
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