%0 Journal Article %T 锰钴镍氧浸没式探测器制备及性能 %A 吴 敬 %A 周 炜 %A 欧阳程 %A 高艳卿 %A 黄志明 %J 红外与毫米波学报 %D 2015 %X 基于化学溶液法制备了尖晶石结构氧化物锰钴镍氧Mn1.56Co0.96Ni0.48O4(MCNO)薄膜材料, 研究了其电学性质及红外器件的探测性能, 包括器件的响应率, 时间常数和探测率.制作了厚度为8μm的MCNO薄膜及红外热敏探测器件, 测量了材料的阻值-温度曲线.制作了基于半球形锗透镜的浸没式MCNO薄膜探测器, 具有时间常数较小(~18ms), 响应率高(~4.4×103V/W)和探测率高(~5×108cm·Hz0.5/W)的优点 %K 尖晶石氧化物 薄膜 热敏探测器 浸没式 %U http://journal.sitp.ac.cn/hwyhmb/hwyhmbcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=140027&flag=1