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ISSN: 2333-9721
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亚微米结构高Tc超导探测器研制

Keywords: 红外探测器超导器件YBCO高Tc亚微米

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Abstract:

应用同步辐射技术对ＹＢＣＯ超导薄膜进行光刻，获得０．８μｍ间隔的折线结构，研制成亚微米结构高Ｔｃ超导薄膜红外探测器，敏感元接收红外辐射能量提高约４２％．器件的最好探测率Ｄ＊达到１．８×１０１０ｃｍＨ１／２ＺＷ－１，工作温度约９０Ｋ．

 References

[1]  刘心田，Acta Phys Sin，1993年，2卷，4期，248页

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