%0 Journal Article %T 亚微米结构高Tc超导探测器研制 %J 红外与毫米波学报 %D 1998 %X 应用同步辐射技术对YBCO超导薄膜进行光刻,获得0.8μm间隔的折线结构,研制成亚微米结构高Tc超导薄膜红外探测器,敏感元接收红外辐射能量提高约42%.器件的最好探测率D*达到1.8×1010cmH1/2ZW-1,工作温度约90K. %K 红外探测器超导器件YBCO高Tc亚微米 %U http://journal.sitp.ac.cn/hwyhmb/hwyhmbcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=19980569&flag=1