低能离子束轰击碲镉汞制备pn结电学特性的研究
Keywords: 离子束轰击碲镉汞pn结电学特性红外材料
Abstract:
用低能离子束轰击工艺制备了3-5μm及8-10μm碲镉汞pn结,研究了它们的电流-电压及电容-电压特性,发现该pn结为缓变结,与通常认为的关于低能离子束轰击p型碲镉汞造成表面转型的机制主要是汞扩散的假说相符合。
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