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Keywords: 浅杂质受主光热电离光谱砷化镓半导体铍
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应用光热电离光谱方法研究了MBE生长GaAs薄膜中Be受主的杂质能级。通过与理论计算的比较,将观测到的3个跃迁峰归属于G线、C线和D线跃迁,同时在实验上也观察到Be受主1s3/2(Γ%^+)态到2p1/2(Γ^)态跃迁,由实验结果算得Be受主的电离能为28.6meV。
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