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Keywords: 红外无损检测脱粘传热学红外热像仪
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介绍了一维民热方程、边界条件及初始条件,推出了缺陷区和无缺陷区的样品的表面温度,计算了含有脱粘区的键合硅片的表面温度差与加热时间、脱粘区厚度等关系,并用红外热像仪进行了实验测量。
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