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ISSN: 2333-9721
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碲镉汞液相外延薄膜生长技术与性能

Keywords: 液相外延组份电学参数碲镉汞薄膜生长

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Abstract:

用液相外延的方法在CdZnTe衬底上生长Hg1-xCdxTe材料,获得了表面形貌好,位错密度低,组份均匀的碲匐汞外延材料,生长工艺对材料的参数控制有较好重复性,外延材料经热处理后,材料的P型和N型电学参数都达到较好的水平,并具有良好的可重复性。

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