SiC悬浊液超光滑表面加工技术
, PP. 518-522
Keywords: 机床,超光滑表面加工,悬浊液,加工机理,机床,超光滑表面加工,悬浊液,加工机理
Abstract:
以纳米SiC颗粒悬浊液作为超光滑加工的载体,研制了适合进行超光滑表面加工且具有良好分散性和稳定性的纳米SiC颗粒悬浊液,阐述了悬浊液浮超光滑表面加工的机理,并用该悬浊液对K9光学玻璃进行了加工试验研究,并进行了AFM测试。验证结果表明,加工获得的K9光学玻璃表面粗糙度可以达到Ra=0.84nm的水平。
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