%0 Journal Article %T SiC悬浊液超光滑表面加工技术 %A 赵继 %A 陈德祥 %A 张富 %A 詹建明 %A 张恩忠 %J 吉林大学学报(工学版) %P 518-522 %D 2006 %X 以纳米SiC颗粒悬浊液作为超光滑加工的载体,研制了适合进行超光滑表面加工且具有良好分散性和稳定性的纳米SiC颗粒悬浊液,阐述了悬浊液浮超光滑表面加工的机理,并用该悬浊液对K9光学玻璃进行了加工试验研究,并进行了AFM测试。验证结果表明,加工获得的K9光学玻璃表面粗糙度可以达到Ra=0.84nm的水平。 %K 机床 %K 超光滑表面加工 %K 悬浊液 %K 加工机理 %K 机床 %K 超光滑表面加工 %K 悬浊液 %K 加工机理 %U http://xuebao.jlu.edu.cn/gxb/CN/Y2006/V36/I04/518