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吉林大学学报(工学版) 2007
铝掺杂氧化锌薄膜的电学及光学性能, PP. 495-498 Keywords: 材料实验,铝掺杂氧化锌薄膜,紫外发光,电学性能,脉冲激光沉积,材料实验,铝掺杂氧化锌薄膜,紫外发光,电学性能,脉冲激光沉积 Abstract: 利用脉冲激光沉积法，在氧气氛下（氧分压为11Pa）以石英玻璃为基体沉积了铝掺杂氧化锌薄膜。靶材选用锌铝合金靶，沉积过程中基体温度保持在150℃。研究了ZnO薄膜中铝的质量分数与薄膜电学性能和发光性能的关系。结果表明，掺杂铝的质量分数为1.37%时所获得的ZnO薄膜具有最小的电阻率和较强的紫外发光特性。关键词：中图分类号：Keywords：
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