%0 Journal Article
%T 铝掺杂氧化锌薄膜的电学及光学性能
%A 刘耀东
%A 李光玉
%A 连建设
%J 吉林大学学报(工学版)
%P 495-498
%D 2007
%X 利用脉冲激光沉积法，在氧气氛下（氧分压为11Pa）以石英玻璃为基体沉积了铝掺杂氧化锌薄膜。靶材选用锌铝合金靶，沉积过程中基体温度保持在150℃。研究了ZnO薄膜中铝的质量分数与薄膜电学性能和发光性能的关系。结果表明，掺杂铝的质量分数为1.37%时所获得的ZnO薄膜具有最小的电阻率和较强的紫外发光特性。关键词：中图分类号：Keywords：
%K 材料实验
%K 铝掺杂氧化锌薄膜
%K 紫外发光
%K 电学性能
%K 脉冲激光沉积
%K 材料实验
%K 铝掺杂氧化锌薄膜
%K 紫外发光
%K 电学性能
%K 脉冲激光沉积
%U http://xuebao.jlu.edu.cn/gxb/CN/Y2007/V37/I03/495