CCD激光衍射测径系统的标定方法

对测量细丝直径在10~40μm的电荷耦合器件激光衍射测径系统提出了两种新的标定方法，并对不同标定方法下的系统进行了测试对比。结果表明，选择恰当的标定方法可以使系统测量精度达到0.15μm。