%0 Journal Article %T CCD激光衍射测径系统的标定方法 %A 何丽桥 %A 高岩 %A 王国光 %J 吉林大学学报(工学版) %P 182-184 %D 2008 %X 对测量细丝直径在10~40μm的电荷耦合器件激光衍射测径系统提出了两种新的标定方法,并对不同标定方法下的系统进行了测试对比。结果表明,选择恰当的标定方法可以使系统测量精度达到0.15μm。 %U http://xuebao.jlu.edu.cn/gxb/CN/Y2008/V38/I增刊/182