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OALib Journal期刊
ISSN: 2333-9721
费用：99美元
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用衍射效率比测浮雕矩形光栅参量
DOI: 10.11830/ISSN.1000-5013.2012.03.0251, PP. 251-254
Keywords: 矩形光栅,衍射效率比,激光衍射,光栅参数,衍射光强比
Abstract:
基于矩形光栅的标量衍射效率公式,提出一种根据0级和1级衍射效率比来测量浮雕矩形光栅的刻槽深度和折射率的方法,并对衍射效率与刻槽深度和入射角的关系进行分析.对刻槽深度分别为2.90,1.01μm的熔石英离子刻蚀矩形光栅进行测量,从实验上验证测量方法的正确性.研究结果表明:通过测量透过光栅的0级和1级衍射光强比,可反演出矩形光栅刻槽深度和塑料光栅材料的折射率,所测量光栅刻槽深度和折射率的误差均小于1%.
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