%0 Journal Article
%T 用衍射效率比测浮雕矩形光栅参量
%A 陈唐荣
%A 赵艮春
%A 戴文海
%A 庄其仁
%J 华侨大学学报(自然科学版)
%P 251-254
%D 2012
%R 10.11830/ISSN.1000-5013.2012.03.0251
%X 基于矩形光栅的标量衍射效率公式,提出一种根据0级和1级衍射效率比来测量浮雕矩形光栅的刻槽深度和折射率的方法,并对衍射效率与刻槽深度和入射角的关系进行分析.对刻槽深度分别为2.90,1.01μm的熔石英离子刻蚀矩形光栅进行测量,从实验上验证测量方法的正确性.研究结果表明:通过测量透过光栅的0级和1级衍射光强比,可反演出矩形光栅刻槽深度和塑料光栅材料的折射率,所测量光栅刻槽深度和折射率的误差均小于1%.
%K 矩形光栅
%K 衍射效率比
%K 激光衍射
%K 光栅参数
%K 衍射光强比
%U http://www.hdxb.hqu.edu.cn/oa/DArticle.aspx?type=view&id=201203003