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ISSN: 2333-9721
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材料工程  2012 

磁控溅射掺碳TiB2薄膜的Raman光谱与摩擦行为

Keywords: 掺碳,TiB2薄膜,中间层,摩擦因数,磁控溅射

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Abstract:

采用磁控溅射技术,使用SiC薄膜和Ti膜作为中间层在Cr12MoV钢表面制备掺碳TiB2(TiB2-C)薄膜,研究掺碳TiB2薄膜的Raman光谱、纳米压痕和摩擦行为。结果表明溅射功率过高或过低都不利于掺入的C元素在薄膜中以DLC形式存在;C元素掺杂降低了TiB2薄膜的纳米硬度和弹性模量;以DLC形式存在的掺入的C能有效降低室温干摩擦(Si3N4球对摩件)条件下TiB2薄膜的摩擦因数。

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