%0 Journal Article
%T 磁控溅射掺碳TiB2薄膜的Raman光谱与摩擦行为
%A 许晓静
%A 盛新兰
%A 张体峰
%A 刘敏
%A 辛喜玲
%J 材料工程
%D 2012
%X 采用磁控溅射技术,使用SiC薄膜和Ti膜作为中间层在Cr12MoV钢表面制备掺碳TiB2(TiB2-C)薄膜,研究掺碳TiB2薄膜的Raman光谱、纳米压痕和摩擦行为。结果表明溅射功率过高或过低都不利于掺入的C元素在薄膜中以DLC形式存在;C元素掺杂降低了TiB2薄膜的纳米硬度和弹性模量;以DLC形式存在的掺入的C能有效降低室温干摩擦(Si3N4球对摩件)条件下TiB2薄膜的摩擦因数。
%K 掺碳
%K TiB2薄膜
%K 中间层
%K 摩擦因数
%K 磁控溅射
%U http://jme.biam.ac.cn/CN/Y2012/V0/I8/30